آنالیز SEM ، میکروسکوپ الکترونی روبشی

SEM

Scanning Electron Microscopy

آنالیز SEM یا میکروسکوپ الکترونی روبشی از اعضای خانواده میکروسکوپ های الکترونی است که جهت تصویربرداری از نمونه و تعیین ویژگی های سطحی و مورفولوژی آن استفاده می شود. در حقیقت در این روش ثبت تصویر توسط الکترون ها صورت گرفته که قدرت بزرگنمایی آن بسیار بیشتر از میکروسکوپ های نوری است و تا چند صد هزار برابر می توانند تصویربرداری کنند.

آنالیز SEM در مقایسه با آنالیز FESEM قدرت تفکیک و بزرگنمایی دستگاه SEM پایین تر است. ولی اگر اندازه ذرات بزرگتر از 50 نانومتر است، می توان از SEM های معمولی استفاده کرد.