آنالیز SEM ، میکروسکوپ الکترونی روبشی
SEM
Scanning Electron Microscopy
آنالیز SEM یا میکروسکوپ الکترونی روبشی از اعضای خانواده میکروسکوپ های الکترونی است که جهت تصویربرداری از نمونه و تعیین ویژگی های سطحی و مورفولوژی آن استفاده می شود. در حقیقت در این روش ثبت تصویر توسط الکترون ها صورت گرفته که قدرت بزرگنمایی آن بسیار بیشتر از میکروسکوپ های نوری است و تا چند صد هزار برابر می توانند تصویربرداری کنند.
آنالیز SEM در مقایسه با آنالیز FESEM قدرت تفکیک و بزرگنمایی دستگاه SEM پایین تر است. ولی اگر اندازه ذرات بزرگتر از 50 نانومتر است، می توان از SEM های معمولی استفاده کرد.
-
تصویربرداری با قابلیت تفکیک 3 نانومتر و بزرگ نمایی تا 1 میلیون برابر
-
مجهز به سیستم تصویربرداری SE و BSE به صورت هم زمان و مجزا
-
مجهز به آشکارساز آنالیز عنصری EDS و قادر به شناسایی عناصر بعد از بور در جدول تناوبی
-
قابلیت کارکرد در خلا، متوسط و کم برای نمونه های بیولوژیک و حساس
-
قابلیت چرخش 360 درجه و زاویه دار کردن (tilt) منفی هشتاد تا مثبت هشتاد درجه نمونه
-
به همراه دستگاه پوشش دهی طلا و آزمایشگاه آماده سازی نمونه ها